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研究了１０００～１２００℃温度下干氧和湿氧中６Ｈ－ＳｉＣ材料的氧化特性，讨论了氧化层厚度与温度、时间、气氛的关系，实验结果表明，在相同的生长条件下，６Ｈ－ＳｉＣ材料的氧化层厚度远小于Ｓｉ的氧化层厚度，且遵循相同的生长规律。
6H—SiC材料的氧化特性
【摘 要】
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研究了１０００～１２００℃温度下干氧和湿氧中６Ｈ－ＳｉＣ材料的氧化特性，讨论了氧化层厚度与温度、时间、气氛的关系，实验结果表明，在相同的生长条件下，６Ｈ－ＳｉＣ材料的氧化层厚度远小于Ｓｉ的氧化层厚度，且遵循相同的生长
【机 构】
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西安电子科技大学微电子研究所
【出 处】
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西安电子科技大学学报
【发表日期】
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2000年4期
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目! (69772 0 2 3),国家部委预研基金资助项目! (8.1 .7.3)
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