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本文讨论了涡轮分子泵前级压强对压缩比测量的影响,并通过实验求得了升压法测量中不同提升量时的压缩比修正曲线。
涡轮分子泵的前级压强对压缩比测量的影响及其修正
【摘 要】
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本文讨论了涡轮分子泵前级压强对压缩比测量的影响,并通过实验求得了升压法测量中不同提升量时的压缩比修正曲线。
【机 构】
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南京电子管厂,浙江大学,浙江大学,浙江大学,
【出 处】
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真空科学与技术
【发表日期】
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1984年01期
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