阐述嵌入式非易失性存储器芯片制造流程中的多晶硅化学机械研磨(CMP)后清洗工艺对随后的多晶硅蚀刻工艺的影响。研究发现CMP的后清洗过程对多晶硅表面的自然氧化层的生长具有显著的影响,从而成为蚀刻后多晶硅源线线宽(CD)的重要影响因素。探讨了CMP后清洗过程对多晶硅表面状态的影响机制,并通过工艺优化显著改善了这些因素对后续蚀刻工艺的影响,从而实现多晶硅源线线宽的精确控制。
本研究运用扎根理论方法,对高校、政府、企业的校地合作角色进行分析,建构高校、政府、企业校地合作角色概念模型。运用数据统计方法,对高校、政府、企业校地合作角色定位重要性进行排序分析。研究探讨了建立高校、政府、企业校地合作的\"三螺旋\"新机制。
1911年辛亥革命爆发后,不少当时的政治精英都认为,西方的议会民主政体是最先进的一种政治体制。比如,孙中山早年就曾想效仿西方实行议会民主和多党竞争。因此民国初年涌现出一批政党。1921年中国共产党成立前后,中国政治舞台上曾出现了300多个政党和政治组织。但是经过实践证明,多党制在中国行不通。观察一个政党,需要研究其背后的主义。在中国历史长河中,自由主义、资本主义、无政府主义等思潮都只是昙花一现,无法根植在这片土地上。最终,历史和人民选择了马克思主义、选择了社会主义道路,这并不是偶然。