朗缪尔探针相关论文
激光诱导放电等离子推力器（Laser-assisted pulsed plasma thruster,LAPPT）综合了激光推进技术和电磁推进技术的优点,在具有低成本、......
电推进因其喷气速度高可以大量节省在轨卫星的燃料,因此现已被广泛应用于升轨与离轨、阻力补偿和卫星组网等空间任务,寿命需求在几......
中性束注入（Neutral beam injection,NBI）由于加热效率高、物理机制清楚（可有效外推到大装置）成为磁约束核聚变主要的辅助加热和电流驱......
低温等离子体在传统和新兴工业领域有着越来越突出的地位,其中射频等离子体作为一种重要类型的等离子体也受到人们的广泛关注和深......
聚变能是一种蕴含极其丰富的清洁能源,在磁约束热核聚变装置中,要克服的工程及物理难题主要是等离子体与器壁的相互作用。包括能量......
由于负氢离子在引出束能量较高时仍然可以保持很高的中性化效率,基于负氢离子源的中性束注入系统在未来的磁约束核聚变装置中将起......
在气压40~80 Pa和微波功率400~800 W条件下,使用光学发射光谱法(OES)对Ar、CH4等气体产生的等离子体进行电子温度诊断。实验结果表......
朗缪尔探针技术广泛应用于空间电离层等离子体参数的探测,相比于采用无线电波对空间电离层的探测方法,朗缪尔探针技术的原位测量可......
低温等离子体由于其较宽的电子温度和较高的化学活性等在集成电路、太阳能电池、光学器件等领域具有广泛的应用前景,其中,容性耦合......
霍尔推力器具有比冲高、便于精确控制等优点，目前在空间推进领域得到了广泛的应用。研究霍尔推力器羽流区中等离子体的特性对于霍尔......
近年来,微波等离子体技术越来越受到人们的关注,微波等离子体具有电离度高、电子密度高、工作气压范围宽以及无电极污染等优点,在......
近年来,微波电子回旋共振(ECR)等离子体源越来越受到人们的关注,因为它能在低气压下产生高密度、高电离度、大体积均匀的等离子体......
为了解决核材料铀的腐蚀磨损导致的失效问题，本论文首先用朗缪尔探针对新颖的双谐振腔微波ECR多功能等离子体源离子注入(PSII)系统......
微波-ECR等离子体增强化学气相沉积和等离子体增强非平衡磁控溅射两种工艺同步进行,可制备半导体、合金材料,而且能制备性能优异的......
低气压下的容性耦合等离子体(CCP)技术在现代微细加工过程中发挥着重要作用。在半导体工业生产中，需要对薄膜进行各向异性刻蚀。基......
利用朗缪尔双探针等离子体诊断方法,研究了细长石英管内的低气压直流放电行为,探讨了细长管空间内的放电条件对等离子体参数的影响......
电子回旋波共振（ECWR）技术是利用电磁波与电学各向异性材料(如带有外加静磁场的低压等离子体)的相互作用来实现的，该技术可在低压力下......
电离层应该存在月球引力引起的朔望月周期变化,但一直没有观察到.2004年6月29日,法国发射了地震电磁监测卫星DEMETER,它是近极地太......
以微型固体火箭发动机为模型,根据等离子体物理学和空气动力学,研制出燃烧型喷流等离子体发生器.利用朗缪尔探针阵列研究发生器喷......
用朗缪尔探针对一个新颖的双谐振腔多功能PSII系统的微波ECR等离子体进行了诊断,得出了会切场中工作气体压强和微波功率对等离子体......
低轨航天器间的电位差异是航天器交汇对接面临的一个重大安全问题,分析了低轨航天器在电离层等离子体中的充电机制,并给出了等效物......
准确的等离子体参数信息对射频离子源的研制十分重要,为获得这些关键参数,需要借助朗缪尔探针作为研究手段。研究利用COMSOL软件作......
在ECR放电实验中,我们测量了简单镜中捕获的电子能量分布函数.通过测量双延迟势,可获得ECR放电中电子在磁镜装置镜喉区域的电子能......
激光作用锡靶等离子体极紫外光转换效率与等离子体特性密切相关。为了对等离子体特性进行诊断,设计了一种用于激光等离子体诊断的......
朗缪尔探针的科学探测会受到航天器外表面导电面积与朗缪尔探针传感器有效面积之比大小的影响。如果航天器的外表面导电面积不足够......
根据ITER朗缪尔探针系统的测量需求开展了探针系统的初步设计和部分研制工作。通过对探针系统测量需求的细化分析,确定了不同等离......
开发了一个朗缪尔探针等离子体诊断系统，对PECVD真空镀膜机进行了等离子体参数诊断。该镀膜机内的等离子体是电容偶合激发方式的氩......
离子推力器挡板通道结构对放电室性能至关重要,通道尺寸严重影响进入放电室的原初电子能量和速度分布.离子推力器通过设置阴极挡板......
讨论了一种朗缪尔球形探针在轨快速去除表面污染的技术方法．朗缪尔探针是空间等离子体原位探测的一项重要手段，广泛应用于各种航天器......
采用SH4，C2H4和Ar在射频容性耦合柱状放电室中产生了尘埃颗粒，利用发射光谱测得射频尘埃等离子体放电室中的一些基本碎片的发射光谱，......
在室温和10Pa氩气环境中，引人平行于靶面方向的直流电场，通过改变脉冲激光能量密度烧蚀单晶硅靶，在与羽辉轴线呈不同角度的衬底上沉积......
用于ITER偏滤器的朗缪尔探针工作于恶劣的热核聚变反应条件并承受极大的热流密度。因此，偏滤器探针的结构设计及优化很重要。使用AN......
自从九十年代在空间等离子体和等离子体处理实验中发现尘埃颗粒,尘埃等离子体目前越来越受研究者的青睐。尘埃颗粒在等离子体技术......
等离子体小型化后往往会产生一些新的特点。如具有更高的等离子体密度,相对较低的电子温度等。小型等离子体源的发展进一步拓展了......
学位
等离子体刻蚀是超大规模集成电路制造工艺中最为关键的工艺流程之一,是实现超大规模集成电路生产中的微细图形高保真地从光刻模板......
学位
随着微波等离子体的应用越来越广泛,其参数的测量研究也逐渐得到人们的重视.本文使用朗缪尔探针测量了微波等离子体的单探针I-V特......
使用朗缪尔探针诊断法获得电推力器喷口位置等离子体的状态参数时,探针在喷口位置停留时间过长造成探针被等离子体流烧坏。以LabVI......
朗缪尔探针诊断教学实验结合等离子体物理学科发展特色,针对直流辉光放电正柱区,同时设计了朗缪尔单探针和双探针的诊断实验.实验......
目前低温等离子体脉冲放电在工业界得到了广泛的应用,尤其是在材料表面处理领域。相比于传统的稳态放电,脉冲放电形式有着众多优势......
建立了一个适用于低气压下双频容性耦合氩(Ar)等离子体的碰撞辐射模型,在试验仪器和条件不变的情况下,发现电源频率对该模型的影响......
诊断电子回旋共振离子源等离子体的传统方法是采用传统的单探针无发射时测量伏安曲线，并根据曲线的拐点由理论公式计算出的等离子体......
介绍了等离子体密度对离子源放电的影响，为了获得长脉冲放电，采用朗缪尔探针测量等离子体密度并反馈调节离子源放电。基于朗缪尔探针......
利用等离子体聚合技术制备的GDP壳层是目前ICF靶丸的主要烧蚀层材料。为了了解GDP薄膜沉积过程中的CH等离子体的状态,采用朗缪尔探......
等离子体加工技术具有传统加工方法难以达到的加工效果,已经广泛应用于微电子学和光学元件制造领域。针对目前在光学元件加工过程......
本文主要的工作是在中国科学技术大学等离子体物理专业的KT-ST稳态等离子体环形装置上进行的,包括KT-ST稳态磁面位形放电装置的建......
理论预言托卡马克中的带状流在调制湍流和降低湍流引起的输运方面可以起到重要的作用,换言之,带状流和湍流的相互作用在决定湍流的......
利用朗缪尔探针,诊断了Pw=650W、Im=145 A、p=0.1 pa条件下在微波电子回旋共振等离子体增强有机金属化学气相沉积ECR-PEMOCVD装置......
