聚焦离子束刻蚀相关论文
红外偏振成像技术在天文、医学、军工等领域发挥着关键作用,具有重要的研究价值和应用前景。目前,红外器件技术已经非常成熟,但传......
现代光学中，如何实现在纳米尺度上对光的调控是人们长期研究的问题，这对于能源和信息等领域的发展有着十分重要的研究意义。随着理论......
迄今为止,纳米加工技术的进步推动了微纳光学天线获得进一步的深入研究。通过光学天线可在微/纳米尺度上实现电磁波包括雷达波和光......
以电子束光刻和聚焦离子束为核心的带电荷粒子束图形化加工工艺因其具有产生高分辨原始图形的能力,在芯片制造、掩模版加工、掩膜......
采用不同的方法裁剪高定向热解石墨(HOPG),制备纳米尺寸的石墨条.首先,发现用聚焦离子束(镓离子)刻蚀高定向热解石墨,可以得到边缘......
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利用原子力显微镜对聚焦离子束刻蚀技术制备的不同纵横比的氮化硅纳米梁结构进行了弯曲测试，并讨论了一种标定原子力显微镜微悬臂梁......
原子力显微镜（AFM）摩擦力的标定是利用AFM测量微载荷下表面间摩擦力需要解决的一个难题。传统的Ogletree楔形标定法没有考虑表面黏着......
针对半导体发光管（LED）器件普遍存在的出光效率低下的问题，首次采用聚焦离子束技术成功地在GaN基发光器件上制备了GaN二维八重准晶光......
提出基于连续元胞自动机的聚焦离子束溅射刻蚀工艺模型,该模型可以有效引入实际工艺参数和扫描策略,建立溅射与再沉积方程,准确地......
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光子微结构是能够控制光子运动的微米、亚微米量级的结构,是目前国际上光学研究领域的前沿和热点之一,它通过人工方法在均匀的光学......
为了制作可用于通信波段的二维硅光子晶体波导,研究了光子晶体波导的设计方法及制作工艺。应用平面波展开法计算了两种空气孔型光......
发丝表面艺术指的是利用传统的手工微雕、微画工艺或先进的微纳米加工技术,在头发丝表面进行微观创作的艺术形式。根据不同的角度,......
全介质亚波长结构能调制光强、偏振态和相位,可制作成抗反射元件和超透镜等。为了降低对刻蚀精度的要求,适用于批量生产,提出一种......
近年来光通信与光计算技术正在飞速发展,光作为一种新兴的信息载体,控制光传输的技术显得越来越重要,低功耗、高速可调制、尺寸小......
