刻蚀技术相关论文
为了分析干法刻蚀对应变多量子阱(SMQWs)发光特性的影响,采用感应耦合等离子体(ICP)刻蚀技术对金属有机物化学气相沉积(MOCVD)生长......
应用材料公司发布了基于Applied Centura~(?)Silvia~(TM)刻蚀系统的最新硅通孔刻蚀技术。新的等离子源可将硅刻蚀速率提高40%,快速......
激光热刻蚀技术是近年发展起来的利用激光热刻蚀薄膜的热变化阈值特性突破光学衍射极限进行纳米图形制备的新技术,在亚波长纳米结......
小，还要更小 20世纪末至本世纪初，纳米技术的发展给传统艺术带来了巨大冲击。其中，一个重要的特征就是艺术作品的小型化与微型......
采用光刻技术、刻蚀技术和等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术,在线阵掩模微结构表面沉积了SiO2和Si3N4薄膜,研究了线阵掩模的宽......
本文论述了不使用粘附剂进行光刻某些材料的新方法——正胶低温显影技术.应用低温显影技术可以相对地增加正胶的粘附性,并刻出了1-......
光刻胶的刻蚀在细化光刻胶线条以及在对细线条的光刻胶进行修剪方面都有作用,本文采用等离子体刻蚀机对光刻胶的刻蚀技术进行了研......
设计制作了一种适合单片光子集成回路的InP基16通道,200GHz通道间隔的阵列波导光栅(AWG)器件。采用偏振无关的深脊型波导以减小器......
生物分子在材料表面上的吸附对许多实际应用如表面生物诊断、生物传感器和生物医学器件等都是十分重要的。材料表面的化学结构、亲......
基于三族氮化物(如GaN)的LED(Light emitting diode)因其环保、节能、体积小和寿命长等优点,已广泛应用在照明和显示等领域中。近......
微流控芯片毛细管电泳技术具有高效、快速、试样消耗量小、集成化程度高等特点,在化学和生物分析方面有着广泛应用。荧光检测是芯......
