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用投影光刻法制出了在6千兆赫下最佳噪声系数为1.6分贝的砷化镓金属-半导体场效应晶体管(GaAs MESFET)。推出了计算最佳噪声系数......
离子注入进行掺杂是制备新型半导体器件的重要手段。研究离子注入产生的缺陷的形态与通过不同退火方式引起这些缺陷组态的变化对......
随着集成电路功效越来越多,电路特征尺寸变得越来越小,超过制造电路图样的微光刻系统的分辨率和极限精度。今后几年,研究人员将寻......
微纳流控芯片技术是一门新兴技术,是包含生物、化学、物理等学科的交叉学科,其制作方法涉及半导体制造,与光学检测结合可以应用于......
细胞是生物体最基本的结构单元和功能单元,细胞的研究是生命科学研究的基础,对人类的发展具有重大的意义。对细胞的形态、繁殖与分......
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分析了偶数点阵达曼光栅的设计原理与特性。利用数值优化方法，获得了一组64×64点阵达曼光栅解。光栅模版用电子束制版法制成，其最细......
利用金属掩模法优化了制备磁性隧道结的实验和工艺条件,金属掩模的狭缝宽度为100μm.采用4nm厚的Co75Fe25为铁磁电极和1·0或0·8n......
