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高拉速对φ300 mm单晶硅点缺陷分布及生产能耗的影响
大尺寸直拉单晶硅的“增效降本”是当前光伏企业急需解决的问题。本文采用有限元体积法对φ300 mm直拉单晶硅生长过程分别进行稳态......
期刊
直拉单晶硅
有限元体积法
拉晶速率
固液界面
点缺陷
能耗
生长φ8″直拉硅单晶φ18″热场研究及数值模拟
随着科学的飞速发展,出于提高生产率、降低成本的目的,器件厂家随着生产规模的扩大逐步要求增大硅片直径。硅单晶直径增大后,大熔硅体......
学位
CZSi
热场
数值模拟
氧含量
拉晶速率
硅单晶
有限元法
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