碳污染相关论文
光学元件污染对X射线传输有很大的影响，尤其是高亮度、高相干X射线自由电子激光的传输。然而，目前针对X射线自由电子激光光学元件污......
为有效评估和预测在极紫外光辐照下,极紫外光刻机中残留的碳氢化合物气体在多层膜光学元件表面造成的碳污染状况,建立了光学元件表......
极紫外光刻系统中的碳污染会降低多层膜反射率,在保证光学元件性能的前提下,如何选择碳清洗工艺是一项重要课题。通过对不同清洗工......
第一条同步辐射光刻光束线已在合肥国家同步辐射实验室建成，并刻出了线宽0．2μm的图形。真空系统是光束线的重要组成部分。该真空系......
利用自行设计的实验装置,研究了同步辐射光活化氧对光学元件表面碳污染的清洗作用。清洗前样品的碳层厚度为10.3 nm,同步辐射光被......
同步辐射装置中的光学元件在一段时间使用后表面会被污染。随着同步辐射能量的提高，这种现象越来越严重。经研究，表面污染物的主要成......
运用相平衡分析的方法，对（Ｇａ，Ｉｎ）Ａｓ半导体ＭＯＶＰＥ生长过程中源物质热分解后的气相物种分压进行了分析，得到了沉积物种的生成率随各生长参数的变化规律......
1年前,作为新当选的陆克文政府的首次正式行动,澳大利亚批准了.现在,澳人利亚正采取另一项重要行动,以实现“低碳未来”.......
