离子注入机相关论文
针对我国用于离子注入机的高压放大器输出峰值电压一般处于±10 kV的现状，研制了一种双极高速高压功率放大器，输出最大峰值电压为±2......
Axcelis技术公司推出可用于大流量注入及亚65nm器件制造的OptimaHD离子注入机。这种新型低能大剂量离子注入系统可提供200eV至80ke......
离子注入机是集成电路制造的核心装备之一,本文重点介绍了当前集成电路领域离子注入机的分类和基本性能参数,描述了其系统组成以及......
离子束表面改性技术是70年代初逐渐发展起来的一种新颖的表面改性技术。该技术是把工件放在离子注入机的真空室中,在几十至几百千......
本文介绍了正研制的氢氦离子注入机的结构和各部分的主要性能指标.它的最高能量为200 keV,可按一定比例同时用氢氦两种离子进行注......
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生......
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针对圆盘式全机械扫描注入机,分析了传统束斑中心算法的缺陷和问题,提出质心的概念来表征束斑的分布,并提出了一种用于注入机剂量......
本文结合作者实践,阐述了EATON公司生产的NV10系列大束流离子注入机的设计缺陷,并介绍了对其进行改造的过程.......
简述了绝缘体上硅(SOI)材料的最新研究动态和国外SOI的最新产业化情况,介绍了国内SOI材料的最新研究进展和应用情况,并对国内SOI材......
采用系统辨识方法获得离子注入机分析器精确模型,然后将系统模型作为分析器控制器的前馈控制,提前预测控制输出,提高控制器的响应......
离子辐照引起的材料微结构变化是一个复杂的过程,用加速器-电镜联机装置可原位观察载能离子束辐照引起的材料微结构演变。武汉大学......
