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介观尺度MEMS器件的纳米磁性液体磁控润滑研究
介观尺度MEMS器件的工作间隙小,且运转速度高,相对于传统机械而言,其摩擦问题显得更加突出。由于缺乏有效的润滑手段,严重阻碍了ME......
学位
介观摩擦学
器件
纳米磁性液体
粘磁效应
磁控润滑
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