【摘 要】
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研究了部分耗尽绝缘体上的硅(PDSOI)SCR结构ESD特性,提出了一种新的SCR结构,并测试出了其ESD,1-V特性和抗闩锁性能。该结构通过采用VSTI层减薄沟道区厚度,可以很容易获得维持
【机 构】
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中国科学院微电子研究所,北京 100029
【出 处】
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第十七届全国半导体集成电路、硅材料学术会议
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研究了部分耗尽绝缘体上的硅(PDSOI)SCR结构ESD特性,提出了一种新的SCR结构,并测试出了其ESD,1-V特性和抗闩锁性能。该结构通过采用VSTI层减薄沟道区厚度,可以很容易获得维持电压连续可调的ESD防护用SCR器件,配合串联二极管的方法,能提供各种维持电压需求ESD防护用的SCR结构。
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