随着人们对于功能集成化的微器件的需求不断增加，越来越多的研究工作被投入到微系统技术的研究中。大部分的研究工作基于IC工艺展开，在硅或类似半导体材料上设计制造适用于不同领域的微器件。本论文的研究工作另辟蹊径，从玻璃基底出发，结合微加工技术和镀膜工艺，构造微机构可调谐滤光片，并取得了初步的进展。论文主要从以下几个方面展开： 一进行滤光片的薄膜光学设计，比较金属反射镜与介质反射镜的性能差异，并最终选择介质反射镜构造F-P腔滤光片。建立微机构可调谐滤光片的电力学模型，梁的模型，板的模型，以及自支撑模型。分别对三种模型进行分析，并根据梁的模型计算出滤光片的初始结构参数及调谐范围。 二利用有限元分析的方法，计算滤光片的板模型在载荷作用下变形情况的数值解。从模拟变形的图中可以看出，在均布垂直载荷的作用下，光学窗口变成了一个三维曲面。根据得到的这个解，分析了器件长宽比对光学特性的影响，器件的电压调谐特性，以及在信号平均效应下器件的输出光谱。器件应当具有适当的长宽比，使之既有最佳的光学窗口，又能保证一定的机械强度。在微小变形的情况下，器件具有良好的近似线性的电压调谐关系。尽管光学窗口发生了三维弯曲，由于变形小，光束集中，器件的透过光谱依然具有较高的透过率和较窄的带宽，满足使用的条件。 三设计器件的制造工艺流程，并对设计的流程进行实验可行性的验证。讨论了实验中各项参数的选择，可能出现的问题以及解决方案。对于湿法腐蚀中不可避免的产生的粘连效应进行了详尽的理论分析，并给出了多种实验解决方案。 最后，对本论文完成的工作进行总结，并提出了值得进一步研究的方向。