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简述了MOSFET器件工作原理，同顾了器件发展历程，列出亟待解决的器件工艺问题以及面临的挑战。
MOSFET器件回顾与展望（上）
【摘 要】
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简述了MOSFET器件工作原理，同顾了器件发展历程，列出亟待解决的器件工艺问题以及面临的挑战。
【机 构】
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中芯国际集成电路（上海）有限公司存储器技术发展中心,上海第二工业大学
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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2006年11期
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