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为提高微量SF6气体浓度的检测精度和扩大其测量范围,提出相对时差超声检测方法。该方法采用1组超声传感器,通过测得的空气和混合气体接收的脉冲时间差,计算出混合气体中SF6的气体浓度。它不仅有效结合了时差法测量范围大和时间差分法测量精度高的优点,而且便于现场可编程门阵列（FPGA）的实现。仿真结果表明,该测量方法的检测精度达到10-5,相对误差在1%以内。