【摘 要】
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本文简要地叙述了微通道板(MCP)在一些重要的科学领域和技术领域中的应用。着重介绍了制造开口面积比为65％的通常的MC P的一种化学腐蚀和物理处理相结合的腐蚀工艺。用这种工
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本文简要地叙述了微通道板(MCP)在一些重要的科学领域和技术领域中的应用。着重介绍了制造开口面积比为65％的通常的MC P的一种化学腐蚀和物理处理相结合的腐蚀工艺。用这种工艺制造的MCP的开口面积比为65％,其塞孔率为0.01％以下,制造MCP的重复率达99％。最后,讨论了腐蚀MCP芯玻璃的反应机理。
This article briefly describes the application of microchannel plates (MCPs) in a number of important scientific and technological fields. An etching process that combines a chemical etching and a physical treatment of a typical MCP with an opening area ratio of 65% is emphatically described. The MCP made by this process had an open area ratio of 65% with a plugging rate of 0.01% or less and a repeat rate of 99% for MCP production. Finally, the reaction mechanism of MCP core glass corrosion is discussed.
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