硅基底相关论文
公开号 ＣＮ１１８８８１７Ａ 申请人 ＭＥＭＣ电子材料有限公司 地址 美国密苏里州 一种用于清洗硅体和可控地降低覆盖在硅基底上的二氧化硅厚度的......
研究了在硅基底上采用等离子增强化学汽相淀积（ＰＥＣＶＤ）氮氧化硅（ＳｉＯＮ）所形成的包括通道波导、条波导、倒脊型波导等多种结构的特性。通过对测试结......
研究了化学气相条件下金刚石在非均匀研磨硅基底表面及镜面基底和均匀研磨基底边缘及角域处的成核行为。发现ＣＶＤ金刚石成核不仅依赖于......
利用脉冲多弧离子镀技术在硅基底上沉积出非晶的类金刚石薄膜。薄膜的折射率为 2 8左右 ;沉积速率与主回路电压以及脉冲频率有关 ......
随着对通信带宽要求的提高，急需发展一种全光网络.其中一个重要的部分就是目前开关的替代品，它必须能够将光信号转换成电信号，然后再......
利用电子束热蒸发技术在两种不同粗糙度的K9玻璃和一批单晶硅基底上沉积了单层二氧化钛(TiO_2)薄膜,并对这些样片进行了氧离子后处......
采用脉冲激光沉积法(PLD)在不同激光通量下烧蚀CNx靶,在单晶硅基底上沉积CNx薄膜。利用扫描电子显微镜(SEM)、X射线能谱仪(EDS)、X......
提出了双激光沉积掺杂薄膜技术,利用准分子纳秒激光和飞秒激光分别烧蚀石墨和锗靶材,保持准分子纳秒激光的参数不变,而将飞秒激光......
空中通信节点技术是现代信息战、多军种联合作战中重要的支撑技术之一。一个国家在该技术领域是否占有先进地位,直接影响着这个国......
磁电复合材料具有铁电性、铁磁性，且会产生磁电耦合效应，这些独特的性能使其在换能器、传感器及存储器等领域存在巨大的应用前景，其中......
通过直流溅射法，在硅基底上溅射铜粒子，并以铜粒子为催化剂，氢气为还原气，乙炔为碳源，在管式炉中制备了纳米碳纤维。利用扫描电子显微镜......
本文采用磁控溅射方法在硅基底上沉积一层金属钛膜，用于取代传统阳极氧化法制备TiO2纳米管阵列所用的金属钛片。分别在乙二醇和丙三......
采用微波加热法,在单晶硅基底上生长了铜纳米粒子,并以铜纳米粒子为催化剂,乙炔为碳源,氢气为保护气,在管式炉中制备了碳纤维.利用......
摘要：利用电子束蒸发在硅基底材料上沉积氟化镱（YbF3）薄膜，并对不同沉积温度所得薄膜进行了研究。研究结果表明，在反可见透红外波段上，沉......
采用真空蒸镀法在低电阻率单晶硅p（100）基底上沉积99．99％高纯铝膜．一步氧化法制备硅基底多孔阳极氧化铝膜作为模板，金属钴为催化剂，900℃......
采用RCA方法与Piranha溶液处理相结合,对单晶硅表面超声腐蚀处理,接触角、原子力显微镜(AFM)表征结果显示获得了平整高羟基密度的......
Nd:YAG脉冲激光扫描照射单晶Si基底表面AgNO3薄膜, 薄膜热分解产生的Ag沉积在 Si基底表面形成沉积线. 在激光功率为2.8 W, 频率为3......
微小双波段天线通过采用微电子加工工艺在高电阻率硅片上被设计和制备,测试得到天线基本为全向辐射,增益为2.8 dB,谐振频率分别为7......
文章利用化学气相沉积（CVD）扩磷的方法，在单晶硅基底上进行扩磷工艺研究。采用X射线光电子能谱分析扩磷硅基底，通过原子力显微镜观察扩......
开展了对硅基底多层螺旋电感的研究.结合前人提到的提高螺旋电感Q值的方法,提出了将柱形,E形磁芯用于多层螺旋电感,并使用软件Maxw......
用DC(直流)反应磁控溅射设备在硅基底上制备TiO2薄膜,在固定电源功率、氩气流量42.6 sccm、氧流量15 sccm、溅射时间30 min的条件......
半球谐振陀螺在近年来的惯性导航应用中已经表现出了很好的性能和鲁棒性,但是,目前使用的半球谐振陀螺体积大、成本高,限制了其在......
研究了氧气氛和掺硅对类金刚石（DLC）膜性能的影响机理。采用飞秒激光烧蚀石墨靶材,通过氧气氛、掺硅和离轴平移旋转等技术,在硅基底......
本文以微波辅助化学法、氧化还原法、氢电弧等离子体法等制备了铜基纳米粒子,并以此为催化剂生长纳米碳纤维。主要研究了以下内容:......
针对MEMS器件制备中两种典型的硅基底多层薄膜结构的残余应力问题,本文提出了利用微拉曼光谱技术测量其残余应力的方法,分析并给出......
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采用共吸附法,在硅基底表面制备3-氨基丙基三乙氧基硅烷(APS)和十二烷基三甲氧基硅烷(WD-10)复合自组装膜.通过分子动力学模拟不同......
采用微波加热法在单晶硅基底上制备纳米镍粒子。考察了镍源、还原剂、表面活性剂、加热方式等实验条件对单晶硅基底上制备纳米镍粒......
采用真空蒸镀法在Si（100）基底上制备了六角片状Zn微晶薄膜，并由N2H4·H2O-水热体系制备了Si基片状ZnO微晶薄膜。XRD、SEM及EDS测......
表面润湿性是固体表面的重要特征之一，对自然界中动、植物的种种生命活动，人类的日常生活及工、农业生产具有重要的影响。众所周知，表......
低维纳米材料因为其诸多奇异的性质受到了国际科技界的普遍关注。因为量子效应,低维纳米材料往往展示出一般宏观材料难以具备的功......
超级电容器具有功率密度大、循环寿命长、绿色环保等优势,广泛应用于各个领域。随着信息技术的进步,高端电子设备朝小型化方向发展......
基于“荷叶效应”的表面自清洁技术已经引起了人们的广泛关注。但传统的研究方法大多是基于“自下而上”的技术手段，而对利用“自上......
