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采用哈特曼夏克传感器的薄膜应力在线测量仪测量了利用离子辅助电子束蒸发的SiO2,TiO2,Ta2O5,Al2O3与ITO薄膜在不同厚度时的应力值......
本文采用热丝化学气相沉积(HWCVD)技术制备n 型纳米晶硅(nc-Si:H)薄膜，系统研究了沉积参数，特别是掺杂浓度对薄膜微结构、电学性质和......
在TiSiN薄膜高硬度机理的研究过程中，我们首先使用第一原理软件包对不同情况下粒子跃迁的激活能进行计算，然后把计算得到的数据作为......
本课题的研究对象是作为硬盘磁头保护膜的超薄DLC薄膜。其研究的目的和意义在于建立了用EELS表征超薄DLC薄膜sp3含量的方法，以及沉......
作为绿色能源,太阳能电池在能源危机和环境危机的今天,突显其研究和应用价值。多晶硅薄膜集晶体硅和非晶硅材料优点于一身,克服了......
涂层刀具兼有刀具基体材料强韧性和涂层材料耐磨性而成为现代切削领域中的应用最广泛刀具。TiAIN涂层的开发在刀具涂层材料发展史......
六方氮化硼是重要的宽禁带半导体材料，其带隙宽度超过6eV，具有优异的物理化学性质，如优异的热导性，高电阻率，高的微波与红外的透过性和......
氧化亚铜(Cu20)是一种非化学计量半导体,不同条件下制备的氧化亚铜可能为n型或p型半导体,它的禁带宽度约为2.1 eV。在可见光范围内......
面对石油等传统能源即将消耗殆尽和环境污染污染问题,世界各国都在努力开发新能源,其中太阳能是取之不尽的清洁能源,故受到广泛的......
镍具有较高的硬度和耐蚀性,在航空、航天、机械制造、电子材料及国防军工等领域得到了广泛的应用。为了满足科学发展对材料特殊性......
在Ti6A14V(TC4)合金表面制备具有生物活性的磷灰石(FHA)涂层,可以将金属良好的机械性能与生物陶瓷良好的生物活性结合在一起,而采......
微晶硅薄膜材料具有电导率高、光照稳定性好和较宽的光谱响应等优点，是近年来热门的太阳电池材料。本文采用甚高频等离子增强化学气......
本文用苯作工作气体，在一个微波电子回旋共振(ECR)放电等离子体化学气相沉积系统中制备了含氢非晶碳膜(a-C:H)。对苯等离子体作......
在内孔HFCVD金刚石薄膜沉积过程中，沉积温度(t)、碳源浓度(φ)、总反应压力(p)和气体总流量(F)等沉积参数对金刚石薄膜的生长具有显......
本文采取4因子4水平田口设计,用等离子体增强化学气相沉积法制备了沉积在白玻璃上的单层N+ A-SI∶H薄膜,测试了薄膜的应力,膜厚,折......
本文采用非平衡直流磁控溅射方法制备CrNX薄膜,研究沉积参数对膜结构和性能的影响.结果表明沉积过程中增加N2的分压,薄膜的组成由C......
