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随着能源和环境问题的凸显,可再生能源,特别是光伏发电技术日益受到重视,但相对较高的光伏发电成本是光伏发电大规模普及的一大障......
多晶硅薄膜具有单晶硅材料较高电迁移率和稳定的光电性能等特性又与非晶硅薄膜一样可大面积低成本制备，因此在薄膜晶体管、微电子集......
作为绿色能源,太阳能电池在能源危机和环境危机的今天,突显其研究和应用价值。多晶硅薄膜集晶体硅和非晶硅材料优点于一身,克服了......
多晶硅薄膜由于具有较高的迁移率和较好的稳定性，近年来被广泛地应用于平板显示薄膜晶体管(TFT)的有源选址矩阵基板、高效长寿命薄......
采用射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD)法制备掺硼非晶硅(a-Si:H)薄膜,然后用脉冲快速光热退火(PRPTA)法对其进行固相晶化。......
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