磁控溅射Ni-0.5Y微晶涂层高温氧化机理研究

来源 :真空科学与技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:arlunfly
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研究了纯镍及其表面磁控溅射Ni-0.5Y微晶涂层在1000 ℃空气中的恒温氧化和循环氧化行为.通过扫描电镜(SEM)和透射电镜(TEM)对涂层以及表面NiO膜的形貌和结构进行了研究.此外,还用激光拉曼(Raman)谱对两种样品表面NiO膜内应力大小进行了测量.结果表明,Ni-0.5Y微晶涂层与基体镍相比有更低的氧化增重速率,表面NiO氧化膜的晶粒尺寸明显减小,膜的高温塑性得以改善.同时,氧化膜内的压应力水平也有所降低,因而改善了NiO膜的粘附性和保护性.磁控溅射涂层的微晶结构以及稀土元素Y的存在均有助于提
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