磷硅玻璃相关论文
利用二氧化硅及磷硅玻璃溶于氢氟酸溶液,而单晶硅不溶的特点将其分离。然后使磷酸与钼酸铵生成磷钼杂多酸,大量硅用酒石酸钾钠及......
IGBT器件具有输入阻抗高和导通压降低的优点,在大功率电力电子领域具有广泛的应用,但IGBT器件的栅极漏电问题严重影响产品的成品率......
半导体器件及集成电路的可靠性,很大程度地依赖于半导体表面的纯化技术。因此,自晶体管发明以来,在半导体器件制造领域,为达到器......
一、问题的提出 随着半导体器件向着小尺寸,高集成度方向发展,许多新的工艺技术比如电子束曝光、ⅹ-射线曝光、离子注入、射频溅......
本研究工作制备了四种新型的质子导电膜,包括:Nafion/磷硅玻璃质子导电玻璃膜、离子液体/多孔SiO2质子导电玻璃膜、PEI-PCFG/磷硅......
研究了HDP-CVD PSG薄膜在栅极周围类似“花朵”状的磷含量分布的机理.实验结果表明,“花朵”状的磷含量分布是HDP-CVD反应腔中Bias......
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