多层膜反射镜相关论文
采用在平焦场光栅谱仪后面分段记录光谱的办法成功地实现了软X光多层膜反射镜反射率的测量,实验观察了反射镜反射特性随入射角变化......
在λ=285nm波长处，选择了一种新的多层膜材料对C／Al。与Mo／Si，C／Si软X射线多层膜相比，正入射C／Al多层膜在150nm附近有很低的二级衍射峰。......
单级衍射光栅具有保留0级和共轭±1级的衍射特性,能够有效地抑制高阶衍射。这种产生纯净光谱的衍射特性在激光等离子体X射线诊断中......
本论文主要研究了极紫外波段Mo/Si多层膜反射镜在带电粒子辐射下的反射率变化情况。从辐射损伤的基本理论出发,讨论了带电粒子与物......
学位
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生......
五通道多层镜软X光能谱仪以光电导探测器(GaAs)作软X光探测器.为了消除杂散光影响.在多层镜通道后面加适当材料滤光片.构成谱仪探......
论述了光刻技术发展的历程、趋势和极紫外投影光刻技术的特性,并介绍了极紫外投影光刻原理装置的研制工作.该装置由激光等离子体光......
首先介绍了投影光刻技术发展的历程、趋势和软 X射线投影光刻技术的特性 ,其次介绍了软 X射线投影光刻原理装置的研制工作。该装置......
150～500 mm长度的各种X射线光学元件可用于光束导引,光束调整,以及单色化.本文介绍了两种不同的大型X射线反射镜.第一种为单层反射......
给出了一种新的极紫外(EUV)单色仪定标方法.通过测量标准气体He空阴极光源的30.38和58.43nm两条发射光谱和标定过的中心波长为13.9......
利用SiC/Si,Mo/Si,B4C/Si,SiC/Al,Co/Mg和SiC/Mg材料对,通过单纯形算法设计了太阳成像用28.4 nm周期多层膜反射镜,并采用遗传算法......
为了满足类氖-锗X射线激光研究的需要,设计制备了23.4 nm软X射线多层膜反射镜。依据多层膜选材原则并考虑材料的物理化学特性选择......
月基极紫外相机用于月球表面对地球等离子体层辐射出的30.4nm谱线进行成像观测,多层膜反射镜是月基极紫外相机的重要光学元件。根......
介绍了所研制的激光等离子体光源软X射线反射率计, 该反射率计由激光等离子体光源、掠入射光栅单色仪、样品室、真空系统、样品台......
采用磁控溅射法在Si（100）基底上镀制了膜系结构分别为[Mg/Co]20、[Mg/SiC]20的两组多层膜,以研究Mg基多层膜的稳定性。对放置在室温......
给出了一种新的极紫外（EUV）单色仪定标方法。通过测量标准气体He空阴极光源的30．38和58．43nm两条发射光谱和标定过的中心波长为13．90nm......
针对软X射线波段多层膜反射镜设计中干涉矩阵的计算误差问题,提出了采用切比雪夫多项式的理论对干涉矩阵进行了分析与计算的方法.......
基于模拟退火(SA)算法,对软x射线短波段中的几个波长的多层膜反射镜进行了优化设计,获得了它们的光学参数,包括多层膜反射镜的最佳......
薄膜光学是物理学的年青分支,它主要研究光在分层介质中的传播规律。其最早萌芽于十七世纪中叶。真正的发展是从1930年出现了油扩......
针对极紫外（EUV)光刻机工作过程中，多层膜反射镜表面沉积碳污染造成的反射率下降问题展开研究，讨论了多层膜反射镜表面碳污染清洗方法......
